ニオブ酸カリウムのナノ機械加工における工具材種の影響

抄録

本研究では，微小機械の板材材料として利用の可能性を持つ層状化合物のニオブ酸カリウムに対し，原子間力顕微鏡の探針を工具としたナノ機械加工を行っている．これに関して工具材種がもたらす影響の理解は乏しい．そこで，工具材種としてSiとダイヤモンドを用い，これら工具材種の違いがどのような影響をもたらすのかを実験およびシミュレーションからアプローチし，その一部を明らかにした．