AFM を用いたナノスサーフェスの創成

市田 良夫; 飯塚 裕己; 佐藤 隆之介

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.715.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: J32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.715.0

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主催: 社団法人精密工学会

AFM を用いたナノスサーフェスの創成

*市田良夫, 飯塚裕己, 佐藤隆之介

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キーワード: ナノ加工, ナノサーフェス, 原子間力顕微鏡

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抄録

本研究は，2組の力/変位トラスジューサを用いてAFMプローブを両端支持する構造としたAFMナノ加工装置により，ナノスケール表面の創成を試みたものである．対稜角90°の3角錐ダイヤモンド工具によるPt-Pd膜の定圧加工において，Rzで1nm以下の粗さを有するナノサーフェスの創成が可能であった．さらに，加工特性に及ぼす工具先端形状の影響について検討すると共に，送り速度を制御することにより数nmの振幅を有するナノスケール機能表面の創成も可能であることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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