超極細ワイヤーを用いたマイクロはすば歯車の研究

抄録

線径が50μｍの超極細ワイヤーを用いてモジュールｍ＝31.83μｍ（ピッチが100μｍ）のマイクロはすば歯車を開発した．本研究では，このマイクロはすば歯車の歯形形状，歯の接触位置，および，歯車の噛み合いについて理論的に解析したので，その結果を報告する．