干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定

安達 正明; 河村 昌範; 岩尾 雄太

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.807.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: K37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.807.0

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主催: 社団法人精密工学会

干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定

*安達正明, 河村昌範, 岩尾雄太

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キーワード: 光干渉, 粗面, 変位測定, 顕微鏡

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抄録

干渉顕微鏡を用いた垂直走査型３Ｄ形状計測では観察面を一定量高精度に垂直移動させながら干渉画像を取得する必要がある．この方法を振動環境下でも使用したいと考える．そこで顕微鏡観察下の粗面の垂直変位量をラインカメラで高精度に計測する手法を研究した．実験では垂直走査しながら２Ｄカメラを用いて干渉像を連続取込みし，複数線上の光強度を抜き出し，抜き出し位置による変位測定値の違いが最小になる処理方法を追求した．

責任著者(Corresponding author)

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