スペックルシアリング干渉計を用いたひずみ分布測定

抄録

位相シフト法を用いたスペックルシアリング干渉計を提案し，ひずみ分布測定を行った．本法の原理は，面内変位を2方向からの照明光によるスペックル像から測定し，シアリングに回折格子を用い変位の空間微分を光学的に行うことによって，ひずみ分布を測定するものである．実験では，このスペックルシアリング干渉計の構築を行い，複雑な形状を持つ物体に対してひずみ分布測定を行い，ひずみ分布の測定に成功した．