超音波振動を援用したダイシング加工

抄録

ガラス、セラミックス、金属及び複合材などの難加工材を効率的にダイシングするために、超音波振動を援用したダイサーを開発した。本報告では超音波振動エアースピンドル及び超音波ダイシング加工の実例を紹介する。実験結果により、超音波振動は加工負荷を大幅低減でき、また加工効率の向上及びブレード摩耗の低減に有効であることが明らかになった。