主催: 社団法人精密工学会
金沢工業大学 工学部 機械工学科
金沢工業大学 工学研究科 機械工学専攻 石川・畝田研究室
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本研究ではラッピング加工における工作物と工具間のスラリーフローが研磨特性に与える相関関係を定量的に解明することを目的としている.スラリーフローの定量評価法として,デジタルカメラの撮影範囲全域の変位計測を可能とするデジタル画像相関法を使用した.本報告では,揺動制御ラッピング方式に着目し,当該スラリーフローを定量評価するとともに,研磨特性との相関関係を調査した結果を示す.
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