デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究

揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係

抄録

本研究ではラッピング加工における工作物と工具間のスラリーフローが研磨特性に与える相関関係を定量的に解明することを目的としている．スラリーフローの定量評価法として，デジタルカメラの撮影範囲全域の変位計測を可能とするデジタル画像相関法を使用した．本報告では，揺動制御ラッピング方式に着目し，当該スラリーフローを定量評価するとともに，研磨特性との相関関係を調査した結果を示す．