研磨における粒子及び研磨パッドの新しい観察評価法の試み

抄録

研磨メカニズム解明のために，研磨スラリー中の砥粒をはじめとする粒子添加物および研磨パッド表面を，液中のまま或いは研磨直後のウエットな状態で観察できるよう，サンプリング方法および観察方法を検討した．本報では各種スラリーサンプルとパッド表面状態の観察結果並びに有効性を報告する．