精密工学会学術講演会講演論文集
2010年度精密工学会秋季大会
セッションID: J02
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自律型自己組織化液体ナノプロセスの開発
*是津 信行松浦 晋渡邉 暁細井 卓治山村 和也
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抄録
ナノ材料でしか実現できない量子状態を制御するデバイスを創製するためには、単一粒子寸法精度でナノ材料を集積する必要がある。本研究で提案する自律型自己組織化液体ナノプロセスでは、成膜領域における局所的なナノ粒子濃度を検出・自動制御しながら単層膜の成膜をおこなう。作業環境場の擾乱に影響されることなく、ナノレベルの自己組織化プロセスの時間・空間的制御をが可能となった。
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© 2010 公益社団法人 精密工学会
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