インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写

成田 行人; 諸貫 信行; 田中 靖紘; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2010A.0.609.0

2010年度精密工学会秋季大会

セッションID: J01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010A.0.609.0

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主催: 社団法人精密工学会

インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写

*成田行人, 諸貫信行, 田中靖紘, 金子新

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キーワード: 微粒子, インプリント, 転写, 複写, 自己組織化, 光硬化性樹脂

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抄録

微粒子の自己整列技術により直径１ミクロン以下の微粒子を例えば単層・最密に規則的に整列させることができる．このような規則形状，あるいは微粒子そのものをインプリントによって別基板に転写することで応用範囲を広げることが期待できる．そこで本研究では，微粒子の直径と材質，光硬化性樹脂の物性，インプリント工程条件が最終的な微細周期構造の精度等に及ぼす影響を明らかにすることで，一般化指針のための知見を得た．

責任著者(Corresponding author)

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