画像計測による寸法の高精度測定 部分投影と空間周波数フィルタリングの応用

広田 耕平; 藤井 啓太; 吉本 敏彦; 矢澤 孝哲; 東 誠虎; 扇谷 保彦; 小島 龍広; 前田 幸男; 神谷 和秀; 野村 俊

doi:10.11522/pscjspe.2010A.0.767.0

2010年度精密工学会秋季大会

セッションID: L21

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010A.0.767.0

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主催: 社団法人精密工学会

画像計測による寸法の高精度測定

部分投影と空間周波数フィルタリングの応用

*広田耕平, 藤井啓太, 吉本敏彦, 矢澤孝哲, 東誠虎, 扇谷保彦, 小島龍広, 前田幸男, 神谷和秀, 野村俊

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キーワード: アンチピンホール, 空間周波数フィルタリング, 部分投影, 寸法計測

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抄録

投影により物体の寸法測定を行う場合，投影面積の物理的上限から被測定物のサイズにより，高倍率による投影が困難となる.そこで，空間周波数フィルタリングにより輪郭を鮮明に投影し,さらに必要領域のみを投影することで，被測定物のサイズに依存せず分解能を維持したまま寸法計測することについて提案する．本研究では，測定原理および実験・検討した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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