レーザ回折光による高速回転中の工具先端と被加工物間の距離計測

抄録

本研究はオンマシンにおける工具先端位置の精密測定を行っている．本稿では，高速回転中（160,000 min^-1）の工具先端および被加工物のエッジそのものからなるエッジ間隙に，レーザ光を照射して発生した回折パターンを利用し，工具と被加工物の間距離の精密測定を検証し，測定値の不均一性は55 nm未満であった．