カーボンナノチューブ複合電着砥石を用いたアルミナセラミックスの微細溝加工

抄録

小径ダイヤモンド電着砥石は高硬度脆性材料の微細加工に広く用いられているが，ダイヤモンド砥粒の脱落によって加工能力が低下し，工具寿命の至るという課題がある。本研究では，砥粒保持力の強化を目的として，カーボンナノチューブ複合ニッケルめっき被膜を応用した工具径0.2mmの小径ダイヤモンド電着砥石を開発し，アルミナセラミックスの溝加工を行い，工具寿命を評価した。