PZT精密位置決め機構におけるダンパの影響について

池上 雅; 櫻田 陽; 長縄 明大; 砂子田 勝昭; 渋谷 嗣; 森 英季; 大日方 五郎

doi:10.11522/pscjspe.2010A.0.839.0

2010年度精密工学会秋季大会

セッションID: M33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010A.0.839.0

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主催: 社団法人精密工学会

PZT精密位置決め機構におけるダンパの影響について

*池上雅, 櫻田陽, 長縄明大, 砂子田勝昭, 渋谷嗣, 森英季, 大日方五郎

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キーワード: 精密位置決め, 圧電素子, ダンパ, モデル化, 過渡応答

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抄録

著者らは，積層型圧電素子と変位拡大機構を組み合わせた精密位置決めに関する研究を行っているが，弾性変形を利用しているため共振ピークが非常に高い．これを低減するためダンパを貼り付けているが，共振周波数より低周波数域において，ゲイン特性の低減が見られる．本研究では，この現象を解明し，位置決めに与える影響を明らかにするため，ゲイン低減部を高次モデルで同定し，シミュレーションによる過渡応答の評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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