電流検出による圧電アクチュエータの変位推定

抄録

本研究室では、圧電アクチュエータに流入する負荷電流を用いて、圧電アクチュエータの変位推定を行ってきた。これまでに40V程度の低電圧による実験を行った結果、電流検出に基づいた圧電アクチュエータの変位推定が可能であることが確認された。そこで本研究では、高電圧時における電流検出を用いた圧電アクチュエータの変位推定について報告する。