積層型圧電素子を用いたスティックスリップ駆動による小型半球ステージの駆動特性評価

抄録

本研究では走査型電子顕微鏡内での微細作業の支援を目的として多自由度の小型半球ステージの開発を行っている。この小型半球ステージは、アクチュエータに積層型圧電素子を用いており、この圧電素子の伸縮動作によるスティックスリップ摩擦で駆動する。本報告では、この小型半球ステージの構成・原理及び傾斜方向の駆動特性について述べる。