ニードル式微少液滴塗布機構におけるニードルの振動特性変化を用いた位置決め機構の開発

抄録

高粘度の液体をpl（ピコリットル）オーダーで塗布することができるニードル式微少液滴塗布機構の開発を行っている。ニードル式微少液滴塗布機構はニードルの先端と塗布面との距離（塗布ギャップ）のばらつきによって、液滴の塗布量がばらついてしまう。そのため積層型圧電素子、板ばねを用いてニードルに振動を与え、その振動特性の変化から塗布ギャップを一定に保つ手法を提案した。本報告では、開発したニードルの位置決め機構の評価、一定の塗布ギャップでの液滴塗布を行う。