精密工学会学術講演会講演論文集
2010年度精密工学会春季大会
セッションID: N34
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レーザ誘導方式深穴評価システムの開発
システムの簡易化
*甲木 昭雄鬼鞍 宏猷佐島 隆生村上 洋佐藤 剛西 裕徳
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キーワード: 深穴, 精度, 測定, レーザ, 誘導
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抄録

測定プローブを測定軸に沿って誘導する方式の深穴評価システムで、アクチュエータとして使用しているピエゾ素子が高価である。本方式では、ピエゾアクチュエータを使用せず、スキッドを用いる方法で穴精度を測定する。測定では、プローブ中心座標を常時記憶し、この座標の測定軸からの偏差を、測定値から補正する。穴形状の異なる深穴の測定実験により、その有効性が明らかになった。

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© 2010 公益社団法人 精密工学会
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