主催: 社団法人精密工学会
九州大学 大学院工学研究院 機械工学部門
鹿児島大学 大学院大学院理工学研究科機械工学専攻
九州大学 工学部 機械航空工学科
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測定プローブを測定軸に沿って誘導する方式の深穴評価システムで、アクチュエータとして使用しているピエゾ素子が高価である。本方式では、ピエゾアクチュエータを使用せず、スキッドを用いる方法で穴精度を測定する。測定では、プローブ中心座標を常時記憶し、この座標の測定軸からの偏差を、測定値から補正する。穴形状の異なる深穴の測定実験により、その有効性が明らかになった。
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