フライカットによる単結晶ZnSの微細溝加工

抄録

硫化亜鉛（ZnS）は赤外線に対し優れた透過特性を持つ光学材料であり，赤外線観測機器用回折格子などへの適用が期待されている。大きさ10mmx10mmの単結晶ZnS(110)面において〈110〉方向に対し時計回りに27°の方向を切削方向として、単結晶ダイヤモンドバイトによるフライカットによって微細溝加工を試みた。その結果長さ約3.3mの延性的な加工面が得られた。