抄録
XFELは、原子間隔と同等の短い波長をもち、分析・解析能力が極めて高いX線自由電子レーザー光として、基礎科学・基盤技術に確信をもたらすと同時に、創薬やナノテクノロジー等、先端分野への幅広い応用が期待されている。その装置に組み込まれるX線ミラーの性能は、非常に重要である。そこでELID研削とEEM加工との連携により高能率・高品位な表面形状を目指し、汎用性の測定向けの集光ミラーの製作を進めているところである。本研究は将来のX線自由電子レーザーを十分に受け止めることのできる石英長尺ミラー製作について報告をする。
