硬Ｘ線ミラー用多層膜の作製と評価

抄録

硬Ｘ線領域における多層膜集光ミラーにおける限界の集光径の小ささは、作製可能な最小の膜厚よって決定され、反射率は界面や基板粗さで決定される。本研究では、SPring8-Bl29XULにてマグネトロンスパッタ法におより成膜された多層膜表面のＸ線反射率測定を行い、膜厚および表面粗さと反射率の関係を調べ、理論曲線とフィッティングすることで、多層膜構造を詳細に調べた結果について報告する。