石英定盤を活用した単結晶ダイヤモンド基板の精密研磨技術

抄録

石英定盤を活用した単結晶ダイヤモンド基板の精密研磨を行った．開発した紫外光支援加工により，(100)面で0.2nmRaの鏡面が得られ，研磨面直下の加工変質層形成もごく僅かであることを確認した．また，研磨した二面間の稜線の丸味半径を計測した．さらに，形成紫外光照射のない石英定盤を用いた研磨加工においても，粗さや削除率は紫外光支援加工に劣るものの研磨できることを見出した．