白金触媒とHF溶液を用いた平坦化法によるSiC加工表面の高分解能TEM観察

抄録

我々は白金触媒とHF溶液を用いたSiC基板の平坦化技術の開発をこれまでに行ってきた。得られる表面はAFM観察により原子レベルに平坦であることが既に明らかとなっている。本稿ではより詳細に表面層の評価を行うために高分解能透過電子顕微鏡（HRTEM）を用いて平坦化後表面の観察を行った結果について述べる。