真直度形状測定のための最小不確かさに基づくマルチプローブ法（第１報）

２つの変位センサと１つの角度センサを用いる場合

抄録

真直度形状測定において、被測定面形状と変位センサを走査する際の案内面移動誤差を分離するソフトウエアデータムが知られている。本報では、二つの変位センサと一つの角度センサを用いて、被測定面形状、案内面移動真直度誤差とピッチモーションを分離する方法において、評価結果の不確かさを最小にするソフトウエアデータムの設計法を提案する。