拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報） 曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ

平田 裕一; 清水 浩貴; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.369.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: E19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.369.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報）

曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ

*平田裕一, 清水浩貴, 田丸雄摩

著者情報

キーワード: レーザオートコリメーション法, 角度センサ, 形状測定, 法線角, 光学素子

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

本研究は，平面形状の測定に用いられるレーザオートコリメーション法（LAC法）に偏向機構を加え，曲率をもつ対象の形状測定を可能にするものである．これまでの偏向機構付きLAC角度センサには曲面の法線角測定を行うと感度が低下する問題があった．そこで測定対象を偏向レンズ焦点距離からずらし，さらに受光部までの集光距離を調整する機構を追加することで感度が向上することを光線追跡による解析と実験により明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）