ナノ３次元構造のインプロセス可視化計測システムの開発（第２報）

マイクロ微粒子の測定

抄録

近年、光を制御する素子として、フォトニック結晶の製造技術が盛んに研究されている。それと同時に、それらの素子の品質を評価する為の計測技術の必要性も高まっている。そこで本研究では、フォトニック結晶などのナノ３次元構造体が組みあがる様子をリアルタイムで可視化計測することを目的とし、デジタルホログラフィを用いた計測法を提案する。本紙では、マイクロガラス球を測定対象として計測システムの評価を行っている。