モリブデン箔の電解エッチング加工

出口 貴久

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.543.0

抄録

エチレングリコール系電解液を用いてモリブデン箔に微細孔を形成する電解エッチング加工技術の開発を行った．モリブデン板の電解研磨を行い，表面品質が良く，加工速度が速い電解液の電解質成分とその濃度，水の添加効果の検討を行った．その結果，エチレングリコールと水の比率が1:1で硫酸を含む水溶液が適することが分かった．この電解液を用いてモリブデン箔に高品位な加工面を有する微細貫通孔を形成した．

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