モリブデン箔の電解エッチング加工

出口 貴久

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.543.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: G13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.543.0

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主催: 社団法人精密工学会

モリブデン箔の電解エッチング加工

*出口貴久

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キーワード: モリブデン, 電解エッチング, 電解研磨, エチレングリコール, フォトファブリケーション

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抄録

エチレングリコール系電解液を用いてモリブデン箔に微細孔を形成する電解エッチング加工技術の開発を行った．モリブデン板の電解研磨を行い，表面品質が良く，加工速度が速い電解液の電解質成分とその濃度，水の添加効果の検討を行った．その結果，エチレングリコールと水の比率が1:1で硫酸を含む水溶液が適することが分かった．この電解液を用いてモリブデン箔に高品位な加工面を有する微細貫通孔を形成した．

責任著者(Corresponding author)

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