微小ダイヤモンド砥粒の脱粒力の測定

抄録

乾式研磨における砥粒の脱粒は、加工面の精度を著しく下げる原因となる。脱粒の少ない加工条件を求めるためには、砥粒が脱粒する際の力の測定が必要となるが微小砥粒に対しての測定は困難であった。そこで当研究では先端にプローブを装着したマイクロマニピュレータと走査電子顕微鏡で構成される装置を用い、チャージされた直径1um程度のダイヤモンド砥粒に直接力を加え、プローブの撓みから脱粒する際の力の大きさの測定を試みた。