走査型電子顕微鏡観察下における微小誘電体の静電マニピュレーション

山島 篤志; 齋藤 滋規; 高橋 邦夫

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.629.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: H15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.629.0

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主催: 社団法人精密工学会

走査型電子顕微鏡観察下における微小誘電体の静電マニピュレーション

*山島篤志, 齋藤滋規, 高橋邦夫

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キーワード: 走査型電子顕微鏡, マイクロマニピュレーション, 微小誘電体, MEMS, シングルプローブ, 静電力

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抄録

マイクロオーダーの微小物体を対象とした操作技術の確立に向け，針状工具を用いた電界制御による静電操作手法が提案されてきた．この操作法を走査型電子顕微鏡(SEM)観察下で適用出来れば，更に微小な物体の操作が可能となるが，SEM観察下では電子線による微小物体の帯電が問題になる．そこで本報では電子線による微小誘電体帯電モデルを基にした静電操作法を提案し，理論・実験の両面から実現可能性について検討を行う．

責任著者(Corresponding author)

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