主催: 社団法人精密工学会
ノリタケカンパニーリミテド 研削システム開発グループ
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従来，研磨の化学的作用についての研究は存在したが，化学的作用と機械的作用を統合的に扱った研究はあまり存在しない．そこで我々はセリア砥粒によるガラス系材料の研磨の機構を化学的作用と機械的作用の観点から解明を試みることにした．本報では砥粒径と研磨性能の影響を調査し，砥粒径と研磨レートは強い相関性があるが，砥粒径と表面粗さとの間の相関性は比較的弱く，砥粒形状などの他の因子も影響している可能性を見出した．
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