リングビーム素子を用いた小型内面形状測定法の開発（第3報）

位相シフト法の導入

抄録

我々のグループはコーンミラーと半導体レーザからなるリングビーム素子を用いた内面形状測定法を研究している．本装置を用いれば円筒形試料の内面形状を非接触にかつ短時間のうちに測定することができる．第２報まではプローブ光となるリングビームには特別な変調を施さなかった．本講演では，位相シフト法を導入することで，測定性能の向上を行った．また，光沢面における感度の調査も行ったので，報告する．