３波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置

抄録

インクジェット方式による液晶カラーフィルタ製造工程において、各画素の膜厚は重要な管理項目である。我々は、既に報告した３波長ワンショット干渉法を改良して測定レンジを拡大し、カラーフィルタ基板の自動膜厚測定装置を開発した。キャリア縞を導入した１枚のカラー干渉画像から、数μmレンジの表面形状を一括測定する。そのため、振動の影響が少なく、高速・高精度な測定が可能になった。