精密工学会学術講演会講演論文集
2010年度精密工学会春季大会
セッションID: L46
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エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第11報)
溶存酸素に基づいた面内硬化形状制御
*長野 敏宗滝川 淳平高橋 哲高増 潔
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抄録
前報では面内硬化形状の制御に関して,急峻な局在領域に有するエバネッセント光用いた場合,溶存酸素が大きな影響を及ぼすことが分かった.本報ではその溶存酸素を制御することで面内硬化形状制御を行った.その結果,硬化時間の短縮や微小物の硬化といった現象が見られたので報告する.
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© 2010 公益社団法人 精密工学会
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