ダイヤモンドマイクロ金型を用いた高圧塑性加工

抄録

本研究では,超高圧を付加するための塑性加工用のダイヤモンド製マイクロ金型を製作することを目的とする.超高圧を付加することが可能であるダイヤモンドアンビルのキュレット部に,集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を用いて微細三次元キャビティ形状を加工し,このダイヤモンド金型を使用して,無潤滑条件で金属薄膜への塑性加工を行った.大気中および真空中において高圧加工実験を実施した結果,真空中において高圧加工を行うことにより良好な加工品を得ることができ,転写性の向上が見られた.