インチワーム型５自由度アクチュエータの連続動作

抄録

本研究室では圧電素子を用いたマイクロアクチュエータの研究を行っている。スチュワートプラットフォーム型アクチュエータは、圧電素子の伸縮量によってステージ面の傾き変位が制限された。そこでインチワームの原理を用いた、高さ方向以外の動作が可能な５自由度アクチュエータを提案した。このアクチュエータは、電磁石でステージを支持することで傾き変位を実現した。本稿では、このアクチュエータの連続動作について報告する。