高速２自由度レンズ駆動アクチュエータを用いたレーザ加工

森本 貴景; 進士 忠彦; 岡本 達樹; 中井 孝洋

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.657.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: L02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.657.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

高速２自由度レンズ駆動アクチュエータを用いたレーザ加工

*森本貴景, 進士忠彦, 岡本達樹, 中井孝洋

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キーワード: レーザ切断加工, 偏心制御, 弾性ヒンジ, 電磁アクチュエータ, レンズ位置決め

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抄録

レーザ光軸とアシストガスノズルの相対位置を高速で調整し，レーザ加工の高速・高品質化を実現するための２自由度レンズ駆動アクチュエータを開発した．弾性ヒンジで案内されたレンズを，電磁吸引力を利用して，レンズの半径方向に２自由駆動する．１mmの位置決め範囲，150Hzのバンド幅を有する開発したアクチュエータを搭載したレーザ加工により，30%近くの加工速度向上，ドロスの少ない曲線加工に成功した．

責任著者(Corresponding author)

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