ラップ用定盤の溝がスラリー挙動に与える影響

抄録

ラッピング加工においてスラリーは加工部に連続供給されることが重要である．このため，ラップ用定盤にはスラリーの均一供給を促す溝が加工されているが，溝がスラリー挙動に与える影響は明らかにされていない．そこで，本報告では上定盤を可視化してラッピングすることにより，交差する溝の角度がスラリー挙動に与える影響について観察を行い，考案した溝形状のスラリー挙動について検討した結果を述べる．