法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発

誤差解析と測定装置の校正

抄録

自由曲面を高速かつnmオーダーで形状測定するための装置について提案している。本研究では、２軸２組のゴニオメータと並進１軸からなる５軸を同時に制御してミラーへの入反射光の経路を一致させることで試料各点での法線ベクトルを求め、測定した法線ベクトルと座標から独自に開発したアルゴリズムを用いて表面形状を算出する。本報告では、各軸の組み立て誤差が形状測定におよぼす影響を明らかにし、各軸の校正について述べる。