スティクションを利用した引張応力印加ナノ振動子の作製法

芦葉 裕樹; 米谷 玲皇; 割澤 伸一; 石原 直

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.1023.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: N45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.1023.0

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主催: 社団法人精密工学会

スティクションを利用した引張応力印加ナノ振動子の作製法

*芦葉裕樹, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直

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キーワード: NEMS/MEMS, 引張応力印加ナノ振動子, スティクション, FIB-CVD

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抄録

引張応力印加によりナノ振動子の振動特性が向上することが知られている．ウェットエッチングを用いたナノ構造作製プロセスにおいて生じるスティクションを利用した，新しい引張応力印加ナノ振動子の作製手法を提案する．２本の両持ち梁を並べて作製しスティクションを生じさせると，梁同士の吸着力により引張応力が印加される．作製した振動子の共振周波数およびQ値の評価により，引張応力による振動特性の向上が確認された．

責任著者(Corresponding author)

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