精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: O36
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2 ステップフーリエ変換法
解析アルゴリズムの簡略化
*神谷 和秀野村 俊松本 公久田代 発造
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抄録
これまでに、干渉縞の位相を解析するため、キャリア周波数の異なる2枚の干渉縞をフーリエ変換し、そのスペクトルの差分を計算することで、形状成分のみを抽出する簡便な方法を提案した。しかし、差分処理によって、スペクトルが微分されてしまうため、数値積分処理を行わなければならなかった。本報告では、フーリエ変換の性質から、数値積分処理を行わずに解析が行えることを示し、シミュレーションによって、その有効性を示す。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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