８の字形３次元工具振動を利用した研磨加工におけるダイヤモンドペーストの流動観察

抄録

樹脂製工具に８の字形３次元振動を与え，ダイヤモンドペーストを研磨材として用いて研磨を行うシステムにおいて，振動形態やダイヤモンドペーストの種類がペーストの流動に与える影響について観察した．