マイクロ多刃工具の加工特性における成膜材の影響

抄録

マイクロ多刃工具とは単結晶Siの異方性ウェットエッチングで製作する切れ刃の脱落がない工具である．本研究はマイクロ多刃工具の加工性能を明らかにすることを目的としている．本報ではガラスの定圧加工に用いた．そこで，Ta，SiC，Al₂O₃を工具に成膜することで，工具の母材Siとガラスの成分SiO₂との親和性の抑制を図った．その結果，明らかとなった成膜材による加工性能の違いを報告し，原因について検討する．