めっき被膜の超精密切削加工性に関する検討

抄録

光学機器製造用の金型あるいはマイクロ溝／パターン加工などの微細形状加工において、表面にメッキを施し、メッキ層で要求精度、微細形状を得る場合がある。メッキ材料としては、無酸素銅、無電解Ni-Pなどが現在用いられているが、本研究では新たなめっき被膜材料について、単結晶ダイヤモンドによる超精密切削加工の可能性を報告する。