刃先移動加工法を用いた超精密マイクロ溝加工（第3報）

曲線溝における曲率の影響

抄録

研削加工，旋削加工，フライカッティングなどによる溝加工では，任意の曲率をもつ曲線マイクロ溝加工は困難である．そこで本研究では，特殊チャンファ付きダイヤモンド工具を用い，前報で提案した高精度加工と工具摩耗の抑制を同時に実現できる刃先移動加工法を任意の曲率をもつ曲線溝加工に拡張し，高精度な曲線溝加工を実現した．また，様々な曲率の溝加工を行い，刃先移動加工法に対する曲率の影響について検討した．