工作物材質に対応した複合砥粒の開発

抄録

これまでの研究で洗浄性の改善を目的に複合砥粒を開発した。これをガラス研磨に用いることで、工作物や加工機械の洗浄性が改善された。また、研磨能率や仕上げ面粗さ、形状精度などの研磨特性の向上にも寄与できることが判明している。本研究では、ガラス以外の金属、半導体基板、光学材料等の様々な工作物材質に対応した複合砥粒の開発を行った。そして、開発した複合砥粒を用いて研磨を行い、研磨特性について評価した。