複合砥粒による研磨特性の加工条件依存性

抄録

筆者らは酸化セリウム砥粒の使用量を低減する技術として有機無機複合砥粒の開発を行っている。これまでの研究により、複合砥粒をガラスの研磨に適応することにより、通常研磨と比較して１．５倍程度の高い研磨能率が得られることがわかっている。本研究では、異なる加工条件で研磨を行った際に、回転速度や加工荷重等と複合砥粒の研磨特性の関係について評価した結果を報告する。