大口径Siウェハの計測評価技術に関する研究

第2報：複素数Wavelet変換によるノイズ除去

抄録

第3世代の複素数Wavelet変換を用いて，Siウェハの計測データからノイズを除去するデジタルフィルタの開発と設計を行った．それにより，周波数成分だけでなく，振幅成分に対し，ノイズの分離と除去を可能にした．