エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第14 報） AFM観察に基づいた硬化形状制御法の実験的検討

大嶋 崇良; 長野 敏宗; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.429.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: F07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.429.0

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主催: 社団法人精密工学会

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第14 報）

AFM観察に基づいた硬化形状制御法の実験的検討

*大嶋崇良, 長野敏宗, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: エバネッセント光, ナノ光造形法, AFM, 形状制御

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抄録

前報までの面内硬化形状制御法に関する研究において，局在領域に存在するエバネッセント光を用いた場合，溶存酸素が硬化形状に大きな影響を及ぼすことが分かった．本報では，より定量的な硬化特性の検討を目的としてAFMによる硬化形状観察を行い，時系列での露光パターンの違いが硬化形状に及ぼす影響について調べ，積層に適した一層硬化物創製の可能性を見出すことができたので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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