極性反転回路を用いた絶縁性Si3N4セラミックスの微細放電加工 第2報  ZrO<sub>2</sub>セラミックスへの適応

竹内 和俊; 河谷 浩司; 花岡 大生; 福澤 康

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.5.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: A03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.5.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

極性反転回路を用いた絶縁性Si₃N₄セラミックスの微細放電加工

第2報 ZrO₂セラミックスへの適応

*竹内和俊, 河谷浩司, 花岡大生, 福澤康

著者情報

キーワード: 放電加工, 絶縁性セラミックス, 極性反転, 補助電極法

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

前報にて極性反転回路を用いることで，絶縁性Si₃N₄セラミックスの微細放電加工の加工特性の改善がなされることを確認した．しかし，他の材質を用いた微細放電加工における極性反転の効果は確認されていない．そこで本研究では，電極を，Cu，CuW，W，被加工物をZrO₂として，それぞれの組合せにおいて極性反転の影響がどのように反映されるかを調査した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）