絶縁性窒化アルミニウムセラミックスの微細放電加工特性

加工雰囲気が放電加工特性に及ぼす影響

抄録

絶縁性窒化アルミニウムの微細放電加工においては，補助電極法により加工表面に形成された導電性被膜から加工を行った場合，脱イオン水中でも加工が進展する．しかし，脱イオン水中における絶縁性セラミックスの放電加工は過去に例がないため，その加工特性は明らかになっていない．本研究では灯油系加工油と脱イオン水中で窒化アルミニウムの微細放電加工を行い，加工雰囲気が放電加工特性に及ぼす影響について調べる．